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狹縫涂布機平板顯示用精密狹縫涂布成膜技術已成熟

作者:admin人氣:562 發表時間:2023-03-07 13:48

狹縫涂布機平板顯示用精密狹縫涂布成膜技術已成熟:

在線精密成膜技術主要為干法成膜和濕法(溶液)成膜。其中濕法(溶液)成膜有兩種設備:IJ和狹縫涂布,而狹縫涂布是濕法(溶液)成膜的關鍵技術。

 

大面積精密狹縫涂布成膜技術——從平板顯示到光伏和IC先進封裝

 

目前在大面積尺寸上,僅有狹縫涂布涂層厚度控制范圍較廣,一致性較高。狹縫涂布技術是平板顯示濕法(溶液)成膜技術中最主要的技術。

 

在柔性OLED中,狹縫涂布技術可應用在多個方面,例如蓋板(UTG/CPI/HC)、觸摸(AgNW/CP)、電極(TCF/CPI)、基板(PI+TFT)、TFT基板中的PI成膜與光刻膠涂布。

 

IC板級封裝(FO-PLP)是精密溶液成膜技術的新發展之一。目前許多產品已經采用該方法,例如奕斯偉在510mm*515mm上進行封裝、佛智芯在600mm*600mm上進行封裝。扇出大板級封裝(FO-PLP)具有4個優勢:性能優越、物理尺寸小、成本低、適應性高。

 

而板級封裝中間的核心設備之一就是狹縫涂布設備,扇出大板級封裝的挑戰在于芯片巨量轉移至玻璃基板后會出現翹曲,但是可以解決該問題。

 

目前大尺寸精密狹縫涂膜裝備嚴重依賴進口,例如OLED產業中,TFT涂布機、蒸鍍機、投影曝光機等基本上由韓國、日本控制,我國涂布設備廠商基本集中在非電子級應用領域。

 

而中國已經形成可以參與世界競爭的電子級涂膜設備公司,對標公司為世界前5的日韓德狹縫涂布設備公司,著力開發鈣鈦礦量產核心涂膜設備。

 

高端精密溶液法成膜應用廣泛,在新能源(鈣鈦礦、OPV、氫電池、鋰電池等)中,可以應用于質子交換膜、鋰電池隔膜、HTL/ETL/perovskites等;在平板顯示(LCD,OLED,mLED, QLED等)中,可以應用于TFT及CF、PI基板及UTG/CPI蓋板、光電功能層/電極、柔性封裝(TFE)、LCD 配向膜。

 

在IC封裝、電子信息、智能等領域中,可以應用于FO-WLP/FO-PLP、傳感器、電致變色及智能玻璃。

 

在成熟的精密狹縫涂布成膜技術基礎上,目前在泛半導體領域取得非常有前景的發展,尤其是鈣鈦礦太陽能電池領域和集成電路FO-PLP先進封裝領域。


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